塵埃粒子計數器檢測過濾器是否泄漏,主要是為了避免空氣過濾器泄漏而影響到整個的生產。主要是檢測各點的懸浮粒子是否出潔凈區要求的范圍,如果是則有泄漏現象,需堵漏或更換。這也是比較簡單的的操作方法。過濾器安裝或更換后,必須對過濾器的安裝連接處進行檢漏,以確保潔凈室的潔凈度符合要求。
塵埃粒子計數器檢測過濾器泄漏主要應用的是光散射原理,計數測定時利用光電倍增管接受塵埃粒子反射的光以測定其大小和數量,并加以分析累計及數字顯示。實驗前要求溫度控制在18—26℃ ;相對濕度控制在45—65%。室內測試人員不得多于2人。針對室內不同潔凈度房間而言,靜壓差≥5Pa,潔凈區與非潔凈區之問靜壓差≥10Pa;對工藝過程中產塵量大的房間與其他房間應保持相對負壓。